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/ NetNews Usenet Archive 1993 #1 / NN_1993_1.iso / spool / sci / electron / 22288 < prev    next >
Encoding:
Text File  |  1993-01-08  |  3.4 KB  |  63 lines
  1. Newsgroups: sci.electronics
  2. Path: sparky!uunet!psinntp!newsserver.pixel.kodak.com!kodak!ornitz
  3. From: ornitz@kodak.kodak.com (Barry x24904/ER/167B-TED)
  4. Subject: Re: Microwave Oven Plasma Etcher? (results)
  5. Message-ID: <1993Jan9.000930.19652@kodak.kodak.com>
  6. Followup-To: sci.electronics
  7. Sender: Barry L. Ornitz
  8. Organization: Eastman Chemical Company
  9. References: <15340.2b4a1345@ohstpy.mps.ohio-state.edu> <C0Is05.Fst@ve7frg.ampr.org> <15387.2b4d8179@ohstpy.mps.ohio-state.edu>
  10. Distribution: net
  11. Date: Sat, 9 Jan 93 00:09:30 GMT
  12. Lines: 49
  13.  
  14. In article <15387.2b4d8179@ohstpy.mps.ohio-state.edu> 
  15. edharris@ohstpy.mps.ohio-state.edu writes:
  16. > I put in a beaker of water and tried adjusting the amount of power by
  17. >varying the amount of water.
  18. >
  19. >Unfortunately though, if you put in too much water, it seems to kill the
  20. >plasma. If you back off a bit on the amount of water, then the plasma/gas combo
  21. >is still too hot. It behaves in an either/or manner: either too much power, or
  22. >no plasma! Maybe there is a way to overcome this problem.
  23. >
  24. >Since I had nothing to loose, I tried John's suggestion of lowering the value
  25. >of the capacitor in series with the magnetron. So far, this works, but I'm not
  26. >sure if the magnetron is being damaged in some way. 
  27.  
  28. You probably have not read my last reply to John.  Changing the capacitor
  29. WILL likely damage the magnetron.  But since this is a form of vacuum tube,
  30. it tends to fail more gracefully than solid-state devices.  I would mainly
  31. expect you to get very much shorter life from the magnetron, perhaps tens of
  32. hours rather than hundreds or thousands.  But this is just a guess.
  33.  
  34. Remember that the plasmas also have negative resistance properties.  A home
  35. microwave oven is a multimode cavity.  Most commercial systems use single-mode
  36. resonant cavities when they want precise control.  That little fan-blade like
  37. thing in your oven (which may be hidden under a plastic cover) is not a fan
  38. but a "stirrer" to deflect the microwaves from the waveguide and cause them
  39. to sweep the oven cavity in an attempt to get uniform heating of food.  I would
  40. guess that the problems you are seeing are due to times when your plasma is in
  41. the full field of the oven.  You might need to distribute smaller containers
  42. of water throughout the oven to make things more uniform.  A possibility is
  43. to wrap the plasma chamber with Teflon tubing in which you have flowing water.
  44.  
  45. Use a small diameter tubing; certainly no larger than 1/4 " OD.  If you know
  46. how to make "waveguide beyond cutoff" openings into the cavity, you can go as
  47. large as 1/2" OD thick-wall tubing.  Remember that the water has a high
  48. dielectric constant and thus the water filled waveguide has a much lower cutoff
  49. frequency than does air filled guide.  If you do not understand what I am
  50. talking about here, email me.  It is easy to hurt yourself by microwave leakage
  51. from the oven if you go drilling holes in the oven to run the tubing and do
  52. things wrong.  Safety first!
  53.                     Barry
  54.  -----------------
  55. |  ___  ________  |    Dr. Barry L. Ornitz          WA4VZQ
  56. | |  / /        | |    Eastman Chemical Company
  57. | | / /         | |    ECC Research Laboratories, Engineering Research Div.
  58. | |< < K O D A K| |    Process Instrumentation Research Laboratory
  59. | | \ \         | |    P. O. Box 1972, Building 167B
  60. | |__\ \________| |    Kingsport, TN  37662  (615/229-4904, FAX 615/229-4558)
  61. |                 |    INTERNET:   ornitz@kodak.com
  62.  -----------------
  63.