home *** CD-ROM | disk | FTP | other *** search
/ NetNews Usenet Archive 1993 #1 / NN_1993_1.iso / spool / sci / electron / 22104 < prev    next >
Encoding:
Internet Message Format  |  1993-01-06  |  2.6 KB
  1. Path: sparky!uunet!cis.ohio-state.edu!zaphod.mps.ohio-state.edu!rphroy!caen!uwm.edu!rpi!newsserver.pixel.kodak.com!kodak!ornitz
  2. From: ornitz@kodak.kodak.com (Barry x24904/ER/167B-TED)
  3. Newsgroups: sci.electronics
  4. Subject: Re: Microwave Oven Plasma Etcher?
  5. Keywords: microwave, Reike and Hartree diagrams, Gerling Labs
  6. Message-ID: <1993Jan6.160107.19682@kodak.kodak.com>
  7. Date: 6 Jan 93 16:01:07 GMT
  8. References: <15340.2b4a1345@ohstpy.mps.ohio-state.edu>
  9. Sender: Barry L. Ornitz
  10. Followup-To: sci.electronics
  11. Organization: Eastman Chemical Company
  12. Lines: 35
  13.  
  14. In article <15340.2b4a1345@ohstpy.mps.ohio-state.edu> 
  15. edharris@ohstpy.mps.ohio-state.edu writes:
  16. >I'd like to use a small microwave oven ( will a small vacuum chamber inside) 
  17. >to generate reactive plasmas ( O2 etc) for cleaning and etching in our lab. 
  18. >The idea sort of works, but even the smallest ovens  (400 Watts or so) 
  19. >generate so much heat that they tend to burn samples more than etch them...
  20. >Does anyone know how to lower the power output of the magnatron, or is it
  21. >possible at all? I'd like to cut the power to 50W or so...
  22.  
  23. Reducing the power of a home microwave oven is not practical.  These things are
  24. designed to operate full on or full off.  Their power supplies usually use
  25. special transformers with high leakage reactance to limit the current so if
  26. you change the tube operating conditions much, you will have to come up with a
  27. new power supply too.  Magnetrons designed to operate over wide power ranges
  28. usually use external electromagnets so you can adjust the field as the voltages
  29. are varied.  A company in California, Gerling Labs (recently sold to another
  30. company but I cannot remember the name), makes a nice variable power microwave
  31. system with waveguide output, directional power sensors, etc. rated for a few
  32. watts to 3 KW.  It is probably overkill for your application. Finding Reike and
  33. Hartree diagrams for the tubes used in home ovens will be necessary if you
  34. plan to modify the power supply in your home-style oven.
  35.  
  36. A simple suggestion would be to place a few beakers of water in your oven
  37. along with your etch cell.  Much of the energy would go into heating the water.
  38.  
  39.                     Barry
  40.  -----------------
  41. |  ___  ________  |    Dr. Barry L. Ornitz          WA4VZQ
  42. | |  / /        | |    Eastman Chemical Company
  43. | | / /         | |    ECC Research Laboratories, Engineering Research Div.
  44. | |< < K O D A K| |    Process Instrumentation Research Laboratory
  45. | | \ \         | |    P. O. Box 1972, Building 167B
  46. | |__\ \________| |    Kingsport, TN  37662  (615/229-4904, FAX 615/229-4558)
  47. |                 |    INTERNET:   ornitz@kodak.com
  48.  -----------------
  49.