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/ NetNews Usenet Archive 1993 #1 / NN_1993_1.iso / spool / sci / electron / 22078 < prev    next >
Encoding:
Text File  |  1993-01-06  |  1.4 KB  |  32 lines
  1. Newsgroups: sci.electronics
  2. Path: sparky!uunet!think.com!rpi!gatech!emory!rsiatl!jgd
  3. From: jgd@dixie.com (John De Armond)
  4. Subject: Re: Microwave Oven Plasma Etcher?
  5. Message-ID: <!0xr5ph@dixie.com>
  6. Date: Wed, 06 Jan 93 09:46:39 GMT
  7. Organization: Dixie Communications Public Access.  The Mouth of the South.
  8. References: <15340.2b4a1345@ohstpy.mps.ohio-state.edu>
  9. Lines: 21
  10.  
  11. edharris@ohstpy.mps.ohio-state.edu writes:
  12.  
  13. >I'd like to use a small microwave oven ( will a small vacuum chamber inside) 
  14. >to generate reactive plasmas ( O2 etc) for cleaning and etching in our lab. 
  15. >The idea sort of works, but even the smallest ovens  (400 Watts or so) 
  16. >generate so much heat that they tend to burn samples more than etch them...
  17.  
  18. >Does anyone know how to lower the power output of the magnatron, or is it
  19. >possible at all? I'd like to cut the power to 50W or so...
  20.  
  21. Why not just put a container of water in the oven with the chamber and
  22. experiment with the amount of water until you absorb the proper amount
  23. of excess microwave?
  24.  
  25. John
  26. -- 
  27. John De Armond, WD4OQC               |Interested in high performance mobility?  
  28. Performance Engineering Magazine(TM) | Interested in high tech and computers? 
  29. Marietta, Ga                         | Send ur snail-mail address to 
  30. jgd@dixie.com                        | perform@dixie.com for a free sample mag
  31. Need Usenet public Access in Atlanta?  Write Me for info on Dixie.com.
  32.