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/ NetNews Usenet Archive 1992 #19 / NN_1992_19.iso / spool / sci / engr / chem / 449 < prev    next >
Encoding:
Text File  |  1992-09-02  |  1.7 KB  |  40 lines
  1. Newsgroups: sci.engr.chem
  2. Path: sparky!uunet!walter!porthos!prefect!tony2
  3. From: tony2@prefect.uucp (21131-gozdz)
  4. Subject: Re: Optical resist processing
  5. Organization: Bellcore, Livingston, NJ
  6. Date: Wed, 2 Sep 92 12:02:44 GMT
  7. Message-ID: <1992Sep2.120244.8056@porthos.cc.bellcore.com>
  8. Keywords: photoresists; SAMPLE
  9. Sender: netnews@porthos.cc.bellcore.com (USENET System Software)
  10. Lines: 28
  11.  
  12. In article <1992Sep2.070104.14358@nntp.hut.fi> s32781h@saha.hut.fi (PP Ahonen) writes:
  13. >I am doing a project on optical positive resist processing.
  14. >Among the articles read through I found a general process
  15. >simulator called SAMPLE (Simulation and Modeling of Profiles
  16. >in Lithography and Etching) by University of California at
  17. >Berkeley mentioned. Could someone please tell me more about 
  18. >the program: availability, price, student version availability,
  19. >contacts and also general info as well as opinions are appreciated.
  20. >Thanks very much in advance.
  21. >---
  22. >s32781h@saha.hut.fi in real life is Mr Petri Ahonen from Finland.
  23.  
  24. Well, there are actually two well-known photoresist
  25. modeling software packages. One is SAMPLE, a creation
  26. of Prof. Andy Neureuther et al. (Dept. EE & CE, UC Berkeley),
  27. and the second, gaining in popularity because of numerous
  28. options included, such as contrast enhancement etc, by
  29. Chris Mack & Co. (Finle Technologies, Plano, TX 75026)
  30. The second one looks very glitzy. Forgot the prices, thou :-(.
  31.  
  32. Hope it helps.
  33.  
  34. Tony 
  35.  
  36. -*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*
  37. Antoni S. Gozdz                tel  (908) 758-2931  |  Bellcore  NVC 3X-261
  38. tony2@prefect.cc.bellcore.com  FAX  (908) 741-2891  |  Red Bank, NJ 07701, USA
  39. -*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*-*
  40.