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/ NetNews Usenet Archive 1993 #1 / NN_1993_1.iso / spool / sci / electron / 22257 < prev    next >
Encoding:
Text File  |  1993-01-08  |  1.8 KB  |  35 lines
  1. Newsgroups: sci.electronics
  2. Path: sparky!uunet!zaphod.mps.ohio-state.edu!news.acns.nwu.edu!network.ucsd.edu!chiton!cdl
  3. From: cdl@chiton.ucsd.edu (Carl Lowenstein)
  4. Subject: Re: Microwave Oven Plasma Etcher? (definitions)
  5. Message-ID: <1993Jan8.165141.18098@chiton.ucsd.edu>
  6. Keywords: microwave, Reike and Hartree diagrams, Gerling Labs
  7. Organization: Marine Physical Lab, UC San Diego
  8. References: <rich.726361718@pencil> <1993Jan7.005550.6869@kodak.kodak.com> <1ii7fgINNh20@shelley.u.washington.edu>
  9. Date: Fri, 8 Jan 1993 16:51:41 GMT
  10. Lines: 23
  11.  
  12. In article <1ii7fgINNh20@shelley.u.washington.edu> whit@carson.u.washington.edu (John Whitmore) writes:
  13. >In article <1993Jan7.005550.6869@kodak.kodak.com> ornitz@kodak.kodak.com (Barry x24904/ER/167B-TED) writes:
  14. >    
  15. >    In the context of the original question (lowering the power
  16. >density in the microwave oven), this is irrelevant.  First, the
  17. >load is the contents of the microwave oven (and this can, we all know,
  18. >vary quite a lot without stalling the oven).  Second, we don't
  19. >care about the exact frequency (nor the exact power); only large 
  20. >power-output changes are of interest.
  21.  
  22. Most of the higher class microwave ovens I have seen vary the (time)
  23. average power output by varying the duty cycle of the magnetron.
  24.  
  25. Older ones do this on ten-second time scale (power knob changes the
  26. duty cycle between 1 and 10 seconds out of every 10).  Newer ones
  27. with electronic controls seem to change the duty cycle on about a
  28. 1/4 second time scale.  Maybe this would be helpful, depending on
  29. the thermal time constant of your plasma etching process.
  30.  
  31. -- 
  32.         carl lowenstein         marine physical lab     u.c. san diego
  33.         {decvax|ucbvax} !ucsd!mpl!cdl                 cdl@mpl.ucsd.edu
  34.                                                   clowenstein@ucsd.edu
  35.