Laboratorija za modeliranje mikroelektronskih tehnologija
Konferencija MIEL '95
Laboratorija za modeliranje mikroelektronskih tehnologija, vec duzi niz godina,
deluje kao deo istrazivackog instituta Elektronskog fakulteta u Nisu.
Neke od aktivnosti laboratorije su:
- Simulacija tehnoloskih procesa: U ovoj oblasti razvijeno je vise programa
za simulaciju tehnolodkih procesa u mikroelektronici. Najznacajniji proizvod
predstavlja MUSIC (MUltigrid Simulator for Integrated Circuit processes),
simulator procesa jonske implantacije, poluprovodnicke difuzije i oksidacije.
Dugogodisnja istrazivanja u ovoj oblasti sumirana su u publikaciji
Multigrid Methods for Process Simulation.
- Optimizacija tehnoloskih parametara: Pored klasicnih softverskih paketa
za optimizaciju tehnoloskih paketa koji su razvijeni u ovoj laboratoriji,
u novije vreme radi se na razvoju optimizatora uz koriscenje neuronskih
mreza. Iz ove oblasti publikovano je vise radova na domacim i inostranim konferencijama.
- Simulacija poluprovodnickih komponenata: Pored klasicnih numerickih
tehnika za simulaciju, radi se i na primeni
Multigrid metoda za simulaciju slozenih pojava u poluprovodnickim komponentama.
Oprema sa kojom laboratorija raspolaze:
- DECstation 5000/120 (Unix)
- VAXstation 3100 (VMS)
- MicroVAX 3400 (VMS)
- Merna oprema (Tracer, CV-merac, prober,...)
Istrazivaci